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THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC

THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC

說明  TTR 911 N  THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性的測量結果。  配備 RS232 數字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 數字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可...

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說明 

 

TTR 911 N  THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性的測量結果。 

 

配備 RS232 數字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 數字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可設置變送器參數，并可提供實時壓力測量結果。更多詳情，請參閱通信協議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的變送器版本能夠監控基本的變送器參數。更多詳情，請參閱第 6.4 章。 

 

TTR 911 N  THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。 

 

每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數均在指定操作溫度范圍內逐一得到溫度補償。 

 

變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備，用于獲取壓力讀數，或進行壓力控制。 

 

傳感器技術 

變送器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統)) 傳感器元件，元件測量基于熱傳導性。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。 

 

應用 

變送器可用于眾多不同領域的真空應用中，如：工業應用、研發、半導體、分析和涂料工業中:

· 一般真空壓力測量  

· 前級管道和粗抽壓力測量 

· 氣體回填測量和控制 

· 質譜儀控制 

· 啟動超高真空電離 (UHV) 規 

· 系統過程控制 

· 檢測異常壓力，利用繼電器設定點采取妥當的安全措施 

· 控制系統壓力 

 

 

P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT?涂層傳感器。  

Parylene-HT?是保形涂層，氣體阻隔性絕佳，不釋氣。與標準 MEMS Pirani 相比，Parylene-HT?涂層傳感器對各種腐蝕性氣體的耐受性更強。涂層覆蓋整個傳感器芯片，包括接線。因此，暴露于處理氣體的唯一材料只有 Parylene-HT?涂層。 如需更多詳情，請聯系應用支持部門。 

 

廢棄處理 

TTR 911 N  變送器是根據 RoHS (在電子電氣設備中限制使用某些有害物質) 指令制造的。 


技術數據

測量原理: 熱傳導性依據 MEMS Pirani 傳感器而定 

測量范圍 (N2 和空氣):  5×10-5 至 1000 毫巴






精確度(1) (N2):

5×10-4 至 1x10-3 毫巴:

誤差是讀數的 

±10%



1×10-3 至 100 毫巴:

誤差是讀數的 

±5%



100 至 1000 毫巴:

誤差是讀數的 

±25%



重復性(1) (N2):

1×10-3 至 100 毫巴:

誤差是讀數的  

±2%



電源電壓:

9-30 伏直流 


功耗:

< 1.2 瓦 


熔絲 (熱可恢復):

200 毫安 


模擬輸出 (100 歐阻抗):

0.61-10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十進制 


模擬輸出分辨率:

16 位 


模擬輸出更新率:

16 赫茲 


傳感器故障，模擬輸出:  

0.5 伏 





材料暴露于真空(2):



P/N: 89654V02、89660V02、230700V02:

304 號不銹鋼、密封材料 FPM


P/N: 89656V02、230701V02:

304 號不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT?





機械設定點繼電器:



P/N: 89660V02:

3


P/N: 89654V02、89656V02:

2





設定點繼電器范圍:

2×10-4 至 1000 毫巴 


設定點繼電器觸點額定值:

1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負載)


設定點繼電器響應時間:

< 100 毫秒 


設定點繼電器觸點電阻:

100 毫歐 (最大值)


設定點繼電器觸點耐久性:

100000 循環 (最小值) (30 伏直流/1 安負載)


設定點繼電器觸點耐久性:  

2000000 循環 (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載)





軟件設定點繼電器:



P/N: 230700V02、230701V02:

2



數字接口循環時間 

1 毫秒 



內部容積:

KF16:

2.80 厘米3 





外殼材質:

304 號不銹鋼 



重量:



P/N: 89654V02、89656V02:

292 克 


P/N: 89660V2:

168 克 


P/N: 230700V02、230701V02:

338 克 



最大允許壓力:

6 巴  


運行溫度:

0 至 40 °C (32 至 104 °F)


烘烤溫度 (電源關閉):

85 °C (185 °F)


燈絲溫度:

超過室溫 35 °C


異物防護等級:

IP40


泄漏速率:

< 5?0-9 毫巴?升/秒 


 

(1) 精確度和重復性數值是零位調整后在室溫氮氣氛下測得的典型數值。 

(2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請聯系LEYBOLD。 


Parylene-HT?是Specialty Coating Systems, Inc 的商標。 


配件和備件編號


零件 

 

產品號 

TTR 911 N，DN16 KF，Display，2SP

89654V02

TTR 916 N C，DN16 KF，Display，2SP

89656V02

TTR 911 N，DN16 KF，RS232

89660V02

TTR 911 N，DN16 KF，EtherCat

230700V02

TTR 911 N C，DN16 KF，EtherCat

230701V02

備用傳感器 TTR 911 N/TTR 916 N，DN16 KF

230650V02

備用傳感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C，DN16 KF

230651V02



Display 1

230001

Display 2

230024

Display 3

230025



Graphix 1

230680V01

Graphix 2

230681V01

Graphix 3

230682V01



A 型電纜，5 米 

12426

A 型電纜，10 米 

230012

A 型電纜，15 米 

12427

A 型電纜，20 米 

12428

A 型電纜，30 米 

12429

A 型電纜，50 米 

12431

A 型電纜，75 米 

12432

A 型電纜，100 米 

12433



螺旋管 DN 16 ISO-KF

230082



定心環 (1.4305 號不銹鋼)，含 O 型環，DN16 KF

88346

定心環 (不銹鋼)，含燒結金屬過濾器，DN16 KF

88351

卡環 (鋁)，DN16 KF

18341

定心環，含細濾器 DN16 KF

88396 

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