變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 真空鎖壓力控制 

· 一般真空壓力測(cè)量 

· 前級(jí)管道和粗抽壓力測(cè)量 

· 氣體回填測(cè)量和控制 

· 質(zhì)譜儀控制 

· 啟動(dòng)超高真空電離 (UHV) 規(guī) 

· 系統(tǒng)過程控制 

· 檢測(cè)異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span> 

· 控制系統(tǒng)壓力 

技術(shù)數(shù)據(jù)

測(cè)量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定 

 壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn) 

P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02:

測(cè)量范圍 (N2 和空氣):  5×10-5 至 1500 毫巴 

精確度 (1) (N2):   5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%

 1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%

 11 至 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%

 1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

重復(fù)性 (1) (N2): 1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

 11 至 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%

P/N: 230366V02、230702V02:

測(cè)量范圍 (N2 和空氣):  5×10-5 至 1500 毫巴  

精確度 (1) (N2):  MEMS Pirani: 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%

  1×10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%

  100 至 1000 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±25%

 絕對(duì)壓電值:  0.1 至 10 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±1% ±0.5 毫巴 

  10 至 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%

  1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

重復(fù)性 (1) (N2):  MEMS Pirani: 1x10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

 絕對(duì)壓電值:  10 至 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%

電源電壓:  9-30 伏直流 

功耗:  < 1.2 瓦 

熔絲 (熱可恢復(fù)): 200 毫安 

模擬輸出:  0.61-10.23 伏直流，Log 1.286 伏直流/十進(jìn)制 

模擬輸出分辨率: 16 位 

模擬輸出阻抗: 100 歐 

模擬輸出更新率: 16 赫茲 

傳感器故障，模擬輸出: 0 伏 

機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器:

P/N: 230350V02、230351V02、230354V02、230355V02: 0

P/N: 230352V02、230353V02、230356V02: 2

P/N: 230366V02: 3

設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: 2×10-4 至 1300 毫巴 

設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: 1 安/ 30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載)  設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: < 100 毫秒 設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: 100 毫歐 (最大值) 設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)

設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)

 軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器:

P/N: 230702V02: 2

響應(yīng)時(shí)間: < 20 毫秒 

數(shù)字接口循環(huán)時(shí)間:  1 毫秒 

暴露在真空中的材料 (2): 304 號(hào)不銹鋼，密封材料 FPM

內(nèi)部容積:  KF16 法蘭 2.8 厘米3 

 NPT 1/8” 3.1 厘米3 

外殼材質(zhì): 304 號(hào)不銹鋼 

法蘭材質(zhì): 304 號(hào)不銹鋼 

重量:

P/N: 230350V02、230352V02、230366V02: 168 克 

P/N: 230351V02、230353V023: 183 克 

P/N: 230354V02、230356V02: 292 克 

P/N: 230355V02: 307 克 

P/N: 230702V02: 338 克 

最大允許壓力:  3 巴 

運(yùn)行溫度:   0 至 40 °C (32 至 104 °F)

烘烤溫度 (電源關(guān)閉): 85 °C (185 °F)

燈絲溫度: 超過室溫 35 °C

濕度: 0 – 95% 非冷凝 

異物防護(hù)等級(jí): IP40

泄漏速率: < 5?10-9 毫巴?升/秒 

(1) 精確度和重復(fù)性是零位調(diào)整后在室溫氮?dú)夥障聹y(cè)得的典型數(shù)值。 (2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請(qǐng)聯(lián)系 Leybold。